蒸鍍的物(wu)理過程包(bao)括：沉積材(cái)料蒸發或(huo)升華爲氣(qì)态粒子🙇♀️→氣(qi)态🔴粒子快(kuai)速從蒸發(fā)源向基片(piàn)表面輸送(sòng)→氣态粒子(zǐ)附着在基(ji)片表面形(xing)核、長大成(chéng)固體薄膜(mó)→薄膜原子(zi)重構或産(chǎn)生化學鍵(jiàn)合。
将基片(piàn)放入真空(kōng)室内，以電(dian)阻、電子束(shu)、激光等方(fang)法💯加熱膜(mo)料，使💋膜料(liào)蒸發或升(sheng)華，氣化爲(wei)具有一定(dìng)能量（0.1～0.3eV）的粒(lì)子（原子、分(fèn)子或原子(zǐ)團）。氣态粒(li)子以基本(běn)無🐪碰撞的(de)直線運🌏動(dong)飛速傳送(sòng)至基片，到(dao)達基片表(biǎo)面😘的粒子(zǐ)一部分被(bèi)反射，另一(yi)部㊙️分吸附(fù)在基片上(shàng)并♉發生表(biǎo)面擴散，沉(chén)積原子之(zhī)間産生二(èr)維碰撞，形(xing)成簇團，有(you)的可能在(zai)表面短時(shi)停留後又(you)蒸發。
